潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成，由FFU提供循環(huán)空氣的動(dòng)力，將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過(guò)超高效過(guò)濾器送入工藝層和工藝 輔助層，靜壓層相對(duì)于工藝層為負(fù)壓。

　　FFU集成電路設(shè)計(jì)優(yōu)點(diǎn)：潔凈室面積可擴(kuò)大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等，多數(shù)潔凈室要求環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動(dòng)、ESD、AMC控制等。FFU集成電路系統(tǒng)剛好可以最大化滿足這些要求。

　　潔凈室按照回風(fēng)特點(diǎn)分為三個(gè)系統(tǒng)：

　　1.FFU循環(huán)系統(tǒng);

　　2.循環(huán)空調(diào)機(jī)配合高效送風(fēng)口系統(tǒng);

　　3.循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和。

　　FFU集成電路系統(tǒng)的三種類型：

　　1.最適合半導(dǎo)體制造業(yè)的FFU循環(huán)系統(tǒng)

　　FFU循環(huán)系統(tǒng)①不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求。

　　2.最適合小規(guī)模潔凈室的FFU循環(huán)系統(tǒng)

　　在小規(guī)模低等級(jí)要求的潔凈室設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用，對(duì)于大面積高等級(jí)的潔凈室則存在運(yùn)行成本過(guò)高、占用空間過(guò)大等缺點(diǎn)。

　　3.全能型FFU循環(huán)系統(tǒng)

　　這種形式的設(shè)計(jì)可以滿足集成電路制造潔凈室大面積高等級(jí)的要求，但運(yùn)行成本較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級(jí)改造困難，因此操作靈活性很低。