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隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展，潔凈技術(shù)在電子制造業(yè)得到了方泛的應(yīng)用。電子制造業(yè)的生產(chǎn)環(huán)境和電子產(chǎn)品的質(zhì)量保持著密切的關(guān)系，所以人們對(duì)電子制造業(yè)的潔凈室設(shè)計(jì)提出了更高的要求。我們只有在充分了解電子制造業(yè)的行業(yè)特性和相關(guān)要求后，才能設(shè)計(jì)出合理的潔凈廠房。
電子制造業(yè)廠萬級(jí)潔凈室廠房特點(diǎn)∶
1.潔凈度等級(jí)要求高，對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格，芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分;
2.風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控，照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控;一般來說，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在50-60%之間，這時(shí)可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。
3.電子產(chǎn)品潔凈室主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象，同時(shí)對(duì)溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
A.電子制造廠萬級(jí)潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)(空態(tài))：不應(yīng)大于65dB(A);
B.電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。
C.電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa;
D.電子制造行業(yè)萬級(jí)潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的最大值：
- 補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和
- 保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3
E.電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應(yīng)設(shè)置新風(fēng)超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)，若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無水保護(hù)，寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。無塵室的送風(fēng)量，應(yīng)取下面三項(xiàng)最大值：
- 保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量
- 根據(jù)熱，濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量
- 向電子制造廠潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量
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