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半導(dǎo)體行業(yè)千級(jí)無(wú)塵室也叫千級(jí)無(wú)塵室
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千級(jí)無(wú)塵室
無(wú)塵室凈化原理
氣流→初效空氣處理→空調(diào)→中效空氣處理→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→凈化管道→高效送風(fēng)口→潔凈室→帶走塵埃（細(xì)菌） → 回風(fēng)夾道→新風(fēng)、初效空氣處理。
重復(fù)以上過(guò)程，即可達(dá)到凈化目的。
無(wú)塵室技術(shù)參數(shù)
換氣次數(shù)：十萬(wàn)級(jí)10－15次/小時(shí)；萬(wàn)級(jí)15－25次/小時(shí)；千級(jí)50－52次/小時(shí);百級(jí)操作臺(tái)斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s。 壓差：主車(chē)間對(duì)相鄰房間≥5Pa。 溫度:冬季＞16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃；
相對(duì)濕度：45－65％（RH）；噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補(bǔ)充量：總送風(fēng)量的20％－30％； 照度：≥300Lux。
無(wú)塵室結(jié)構(gòu)材料
1.無(wú)塵室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化專(zhuān)用的氧化鋁型材制造。無(wú)塵室門(mén)采用凈化密閉門(mén)，窗采用鋁合金玻璃固定窗。
2.無(wú)塵室地面采用環(huán)氧自流平或高級(jí)耐磨塑料潔凈地板。
3.無(wú)塵室凈化通風(fēng)管道選用鍍鋅薄鋼板制作，并采用“PEF"阻燃型的保溫板做保溫。
無(wú)塵室及無(wú)塵室空氣中懸浮粒子潔凈度等級(jí)：
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等數(shù)ISO空氣潔凈
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大于或等于表中粒徑的最大濃度限值（P/m -空氣）
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潔凈等級(jí)美國(guó)聯(lián)邦209E
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0.1um
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0.2um
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0.3um
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0.5um
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1um
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5um
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ISO Class1
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10
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2
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ISO Class2
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100
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24
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10
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4
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ISO Class3
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1000
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237
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102
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35
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8
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1
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ISO Class4
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10000
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2370
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1020
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352
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83
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10
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ISO Class5
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100000
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23700
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10200
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3520
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832
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29
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100
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ISO Class6
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1000000
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237000
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102000
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35200
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8320
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293
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1000
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ISO Class7
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352000
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83200
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2930
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10000
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ISO Class8
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3520000
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832000
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29300
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100000
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ISO Class9
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35200000
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8320000
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293000
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300000
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